Titre :	Croissance et caractérisation de films ultra-minces d’oxydes de silicium formes sous bombardement électronique en surface du silicium(100).
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Benafghoul SEFSAF, Auteur ; D BOLMONT, Directeur de thèse
Année de publication :	1988-1989
Importance :	90 p
Présentation :	Tableaux,Graphiques.
Format :	21x30 cm
Note générale :	Memoire de doctorat en Physique / Option : Physique du solide .
Langues :	Français (fre)
Catégories :	Thèses Doctorat:Physique
Mots-clés :	ultra-minces, oxydes, silicium , bombardement électronique .
Note de contenu :	Annexe, Références bibliographiques

Croissance et caractérisation de films ultra-minces d’oxydes de silicium formes sous bombardement électronique en surface du silicium(100). [texte imprimé] / Benafghoul SEFSAF, Auteur ; D BOLMONT, Directeur de thèse . - 1988-1989 . - 90 p : Tableaux,Graphiques. ; 21x30 cm.
Memoire de doctorat en Physique / Option : Physique du solide .
Langues : Français (fre)

Catégories :	Thèses Doctorat:Physique
Mots-clés :	ultra-minces, oxydes, silicium , bombardement électronique .
Note de contenu :	Annexe, Références bibliographiques